先進芯片製造行業中成功案例分析(PPT 52頁)

第一章“精確複製”簡介
1.1“精確複製”策略產生的背景及其作用
半導體生產以工藝流程複雜為特點，通常一個生產過程有許多單獨的工藝步
序，並且許多步序的公差範圍非常小。此外還存在著複雜的交互影響，即每一個步
序可能會影響到其他步序，每一個最終產品的參數可能由許多輸入的結果決定。同
時這種複雜程度隨著新一代技術的出現，在不斷增加。那些在過去認為是不重要的
因素，現在成為影響工藝結果的重要參數。
在半導體行業，技術研發和生產設備的投入是非常高的，並且每一代都在增加。
當一個新工藝流程和產品被研發出來後，為了適應市場的需要，人們希望能在保證
沒有質量問題，盡可能高的成品率的前提下，盡快把這一新技術投入量產。
傳統技術轉移的方式通常允許對設備和工藝進行更改。這些變動有的是為了改
進，有的是為了適應工廠的特殊要求，因為他們可能在生產其它產品。但是由於技
術變得越來越複雜，這些臨時的改動通常會引起許多不可遇見的問題，從而使生產
線起動延遲或造成更糟糕的結果［1］。
為了解決上述問題，英特爾在八十年代中提出了“精確複製”（CopyExactly）
的建廠策略，並從1996年開始完全采納這一策略。英特爾的“精確複製”策略可
使公司在確保質量和成品率的前提下迅速建廠並進入量產階段，從而縮短產品上市
時間。並同時確保它在全球不同工廠生產的產品具有一樣的品質。
英特爾的“精確複製”策略使其實現了如下三個目標：
一、從研發到批量生產的快速轉移
“精確複製”策略通過將研發工廠的東西複製到量產車間
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