科學研究計劃項目申請書編寫提綱(DOC 66頁)

一、 總體介紹
一、 超精密衍射光柵刻劃機工作方式及係統組成
一、 立項依據
一． 機械機構
七、現有工作基礎和條件
三、 刻劃機工作台的運動方式
三、 擬解決的關鍵科學問題和主要研究內容
三． 實驗環境
九、 經費概算
二、 光柵刻劃機關鍵結構部件
二、 擬解決的關鍵問題和主要研究內容
二、 國內外研究現狀和發展趨勢
二． 建模與控製方案
於是得轉角方程和撓曲線方程為：
五、 計算機輔助製造（CAE）
五、 總體研究方案
五． 控製軟件平台設計
圖10. 基於單神經元的PID智能控製精度測試
圖11. 超精密定位工作台振動(紅)與單神經元的PID智能控製算法跟蹤(藍)
圖12. 宏微聯合前饋智能控製器流程圖
圖13. 光柵全行程刻劃過程中定位誤差變化圖
圖13. 超精密定位平台的控製係統結構
圖14 壓電驅動器及其控製器
圖2.14 金剛石刻刀圖
圖2.15 複合式刀架結構圖
圖2.2 斯特朗型示意圖
圖2.3 斯托洛克型示意圖
圖4. 新型的整合宏微觀效應的剛-柔耦合、虛實混合係統動力學模型結構圖
圖4.1 光柵刻劃機刻劃狀態監控示例
圖4.10.測量光路圖
圖5. 傳統PID控製結構
圖6. 傳統定常PID控製定位精度測試結果
圖8. 單神經元自適應PID控製結構
圖9. 單神經元PID算法控製效果的仿真測試
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