RENAinoxide培訓教材(PPT 36頁)
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RENAinoxide培訓教材(PPT 36頁)內容簡介
RENA inoxide 培訓
RENA Inoxide 大致構造
RENA刻蝕的機理
RENA刻蝕的機理——溶液變綠
RENA刻蝕工藝的關鍵 ——刻蝕槽補液
調節——配比
調節——溫度
調節——初配液
堿洗槽和去PSG氫氟酸槽
刻蝕線
PPV材料的疲勞
碎 片
其它
異常情況及排查過程
異常情況及排查過程
緊急情況的處理
常用的工藝操作
“一化一水”，矽片每經過一次化學品，都會經過一次水噴淋清洗。
除刻蝕槽和第一道水噴淋之間,其它的槽和槽之間都有吹液風刀。
（風刀主要是將液體吹回槽體，防止液位降低造成報警）
除刻蝕槽外，其它化學槽和水槽都是噴淋結構，
去PSG氫氟酸槽是噴淋結構，而且片子進入到溶液內部。
最後一道水噴淋（第三道水噴淋）由於要將所有化學品全部洗掉，
所以水壓最大。相應的，最後的吹幹風刀氣壓最大。（隻是相對而言）
..............................
RENA Inoxide 大致構造
RENA刻蝕的機理
RENA刻蝕的機理——溶液變綠
RENA刻蝕工藝的關鍵 ——刻蝕槽補液
調節——配比
調節——溫度
調節——初配液
堿洗槽和去PSG氫氟酸槽
刻蝕線
PPV材料的疲勞
碎 片
其它
異常情況及排查過程
異常情況及排查過程
緊急情況的處理
常用的工藝操作
“一化一水”，矽片每經過一次化學品，都會經過一次水噴淋清洗。
除刻蝕槽和第一道水噴淋之間,其它的槽和槽之間都有吹液風刀。
（風刀主要是將液體吹回槽體，防止液位降低造成報警）
除刻蝕槽外，其它化學槽和水槽都是噴淋結構，
去PSG氫氟酸槽是噴淋結構，而且片子進入到溶液內部。
最後一道水噴淋（第三道水噴淋）由於要將所有化學品全部洗掉，
所以水壓最大。相應的，最後的吹幹風刀氣壓最大。（隻是相對而言）
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