潔淨室知識培訓教材(PPT 47頁)

運動時產生的塵埃粒子數量
靜坐時產生的塵粒數約10,000
輕微運動時產生的塵粒數約100,000
劇烈運動時產生的塵粒數約10,000,000
灰塵是如何去除的呢？
照明
風淋室（Airshower）
傳遞箱(PASSBOX)
潔淨室Cleanroom:空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、
產生滯留粒子。室內其它有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控製
由於半導體工業所製作的集成電路元件尺寸越來越小，在一塊小小的芯片上，
整合了許許多多的元器件，因此在製造的過程中就必須防止外界雜質汙染源
(包括塵埃、金屬離子、各類有機物等)，
因為這些汙染源可以造成元器件性能的劣化及產品成品率和可靠性的降低。
所以製造集成電路必須在潔淨的環境中進行，以盡量將汙染源和矽片隔離。
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