光刻機簡單介紹(PPT 36頁)

1.發展史
2.光刻機概述
3.光刻機構造
4.相關技術
1.接觸式光刻機
2.接近式光刻機
3.投影式光刻機
4.掃描式光刻機
5.步進式光刻機
6.步進掃描式光刻機
光刻機簡單介紹
光刻機發展過程
光刻機概述（一）
光刻設備概述（二）
光刻機
光刻機基礎
光學基礎知識
光刻機整體構造
光學係構造
光刻機構造－幹涉濾光鏡
光刻機構造－複眼lens
光刻機構造－SHUTTER UNIT
光刻機構造－Stage unit（1）
光刻機構造－STAGE UNIT （2）
光刻機構造－Stage unit（3）
工作台定位－HP幹涉計
工作台定位：移動境、固定境
光刻機構造－LENS CONTROLLER
LC倍率控製的實現
LC與AUTOFOCUS的關係
光刻機－相關特性參數
數值孔徑
分辨率： R
焦點深度：DOF
分辨率、焦深、NA關係
離軸照明
離軸照明的優點
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