氣體輸送係統安全培訓教材(PPT 102頁)

氣體輸送係統安全
了解半導體/電子行業氣體種類及特性
了解低溫氣體的危害及防護
了解如何確保氣體輸送係統安全
了解如何正確操作鋼瓶
了解gas-handling設備及其功能
了解係統輸送係統的部件及其功能
了解gas cabinet和VMB/P
氣體輸送係統安全
設計準則
氣體分類一
氣體分類一—大宗氣體
膨 脹 率
氣體分類一—特種氣體
氣體分類二
氣體分類二—常見危險符號
氣體分類二—不可燃氣體
氣體分類二—可燃氣體
氣體分類二—氧化性氣體
氣體分類二—毒性氣體
氣體分類二—腐蝕性氣體
氣瓶操作
半導體廠房的氣體供應方式
氣體供應方式
氣體供應方式－N2空分站及管網
大宗深冷液態氣體
ValveManifoldBox(VMB)閥組箱
GasJungle　混氣盒
PressureIndicators--PressureTransmitter壓力傳送器
GasFilterSelectionCriteria　過濾器選型準則
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