工藝基礎知識培訓課件（PPT 50頁)

內容摘要
1 矽單晶
1.1單晶矽與多晶矽
矽（台灣、香港稱矽）呈灰色，性脆，易碎。其在自然界中呈氧化物狀態存在，在岩石圈中的豐度為27.6%（重量），僅次於氧，因而矽的資源極為豐富。 通常的工業矽（99.0-99.9%）不具有半導體性能，當將矽提純到很高純度（99.9999999%）時，就顯示出優異半導體性能。下表中列舉了矽的一些參數。
矽原子在空間呈長程有序排列，具有周期性和對稱性，這種矽晶體稱為單晶矽。反之，矽原子在空間的排列呈無序或短程有序，稱為多晶矽。
因單晶的原子排列具有周期性和有序性，為了方便分析研究，人們選取能夠反映晶體周期性的重複單元作為研究對象，稱為晶胞。矽單晶屬於金剛石結構，晶胞是正方體。八個頂點、六個麵的中心及每條空間對角線上距頂點四分之一對角線長的地方各有一個矽原子。

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