PN結原理及製備工藝培訓教材(PPT 38頁)

PN結原理及其製備工藝
pn結的形成-形成PN結的原理
半導體二極管的伏安特性
工藝流程圖
（0）準備
晶體生長，晶圓切、磨、拋
(2)塗膠
（3）曝光
（4）顯影
（6）去膠
（7）雜質擴散
(8)驅入
(10)塗膠
(11)曝光mask2板
(12)顯影
(13)腐蝕
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