薄膜的製備工藝培訓課件(PPT 43頁)

1.什麼是薄膜
1.1薄膜的幾種定義
1.2薄膜的分類
1.3薄膜的特點
2.薄膜的製備工藝
2.1物理氣相沉積
2.2化學氣相沉積
2.2.1金屬有機化學氣相沉積
2.3溶膠凝膠法
2.4電沉積
薄膜的製備工藝
主要內容
2.薄膜的製備方法
2.1物理氣相沉積(physicalvapordeposition）
2.2化學氣相沉積(chemicalvapordeposition)
2.2.1金屬有機化學氣相沉積MOCVD
MOCVD法的特點
2.3.1Sol-Gel製薄膜的特點
2.3.2溶膠－凝膠方法製備薄膜工藝
2.3.4不同Sol-Gel工藝方法的對比
2.3.5Sol－Gel方法製備薄膜的步驟
2.4電沉積(Electrodeposition）
電沉積的特點
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