集成電路工藝培訓課件(PPT 57頁)

刻蝕
1.引言
1.1刻蝕的概念
1.2刻蝕工藝的目的
1.4刻蝕的分類
2.刻蝕參數及現象
3.幹法刻蝕
3.1幹法刻蝕原理
3.2幹法刻蝕的應用
4.濕法刻蝕
4.1濕法刻蝕的原理
4.2常用材料的濕法刻蝕
常見濕法刻蝕技術
5.總結
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