ESD控製技術規範(DOC 20頁)

10.10工裝的防靜電技術要求：
10.11靜電敏感區域的防靜電器材規範：
10.12.1防靜電器材的技術要求：
10.12.2.1防靜電台墊：
10.12.2.2防靜電地墊：
10.12.2.3工作椅：
10.12.2.4防靜電包裝袋：
10.12.2.5防靜電容器(包括周轉箱、元器件存放盒、印製板架等)：
10.12.2.6防靜電周轉車：
10.12.2.7靜電消除器(離子風機)：
10.12.2防靜電器材及其使用維護要求：
10.12EPA區內特殊情況處理
10.1基本防靜電要求:
10.2防靜電工作台的技術要求：
10.3工作台的電氣要求:
10.4.1按照工作台麵的大小選擇所需的防靜電台墊的尺寸。
10.4.2使用異丙基酒精徹底清洗台墊下表麵(即黑色的一麵)。
10.4.4使用異丙基酒精清洗防靜電台墊上表麵和各組成構件。
10.4.5將經過以上準備好的防靜電台墊平整的鋪於工作台麵上。
10.4.6按操作人員的作業範圍、確定鋪放台墊的麵積。
10.4.7將工作台置於防靜電地墊上。
10.4.9全部安裝完畢後，對各參數指標進行檢驗合格後，方可開始使用。
10.4工作台的安裝(配置)要求:
10.5.1防靜電工作台的台墊和地墊，分別串聯1MΩ+\-10%的電阻接地(即軟接地)。
10.5.2防靜電工作台墊和地墊上任意一點與地線配置係統間的電阻為1×106~1×109Ω。
10.5.3接地電纜應采用中間無接頭、且具有足夠的機械強度。
10.5.4多台防靜電工作台的接地線不能相互串接。
10.5.6對載流接地線，應使用同軸電纜來接地和屏蔽。
10.5防靜電工作台接地要求:
10.6.1防靜電工作台在日常使用中，必須確保正常接地狀態。
10.6.5使用中性清洗劑或防靜電劑清潔防靜電台墊和地墊。
10.6.6對所有建築地板使用防靜電溶液進行維護保養。
10.6.7以上條款必須定期進行監測。
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