矽材料科學與技術教材(PPT 63頁)

矽材料科學與技術
太陽電池分類
多晶矽的定義
多晶矽國外情況
國際多晶矽主要技術特征有以下兩點：
國內多晶矽情況
國內外情況對比
多晶矽的生產有著許多方麵的壁壘
多晶矽的主要生產方法和工藝
矽的提純
1、三氯氫矽還原法（SIMENS法）
三氯氫矽
三氯氫矽合成
三氯氫矽的提純
.氫還原三氯氫矽
改良的西門子法
改進之處
西門子法的顯著特點
2、矽烷熱分解法
1.矽烷的製備
矽烷的提純
3.矽烷的熱分解
各種工藝路線特點比較
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