矽微細加工工藝培訓講義(PPT 27頁)

矽微細加工工藝
1、矽
2、矽的體微加工技術
2.1矽的體微加工技術
2.1.1濕法刻蝕
濕法刻蝕——方向性
各向同性濕法刻蝕
各向同性刻蝕的停蝕技術
各向異性濕法刻蝕
刻蝕液
各向異性刻蝕的停蝕技術
2.1.2幹法刻蝕
等離子體刻蝕（PlasmaEtching，PE）原理
濺射刻蝕原理
反應離子刻蝕原理
3、矽的表麵微加工技術
犧牲層技術
犧牲層技術表麵微加工的工藝步驟
利用犧牲層製造矽梁的過程
表麵微加工對所用材料的要求
..............................