黃光製程工藝流程教材(PPT 27頁)

黃光製程
總流程圖
黃光製程：通過對塗覆在玻璃表麵的光敏
性物質(又稱為光刻膠或光阻)，
經曝光、顯影後留下的部分對底層起保護作用，
然後進行蝕刻脫膜並最終獲得永久性圖形的過程。
製程流程
素玻璃經過清洗、烘烤後進入真空室進行濺鍍ITO/MAM。
GlassCleaning：去除玻璃表麵的髒汙、油汙等，
使玻璃表麵清潔，以保證後續光阻的塗布效果及結合力。
主要控製參數：清洗液濃度，清洗速度，脫脂毛刷壓入量。

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