RENA前後清洗工藝培訓(PPT 65頁)

太陽能電池的種類及效率
製造太陽能電池的基本工藝流程
一、 RENA Intex 前清洗工藝培訓
製絨的目與原理
酸製絨工藝涉及的反應方程式
前清洗工藝步驟
Etch bath
刻蝕槽的作用
Alkaline Rinse
堿洗 槽的作用：
Acidic Rinse
酸洗槽的作用
補液
前清洗補液原則
SPC 控製
前清洗工序工藝要求
工藝衛生
二、 RENA InOxSide 後清洗工藝培訓
後清洗的目的與原理
濕法刻蝕原理
刻蝕中容易產生的問題及檢測方法
去除磷矽玻璃的目的
去 PSG 原理方程式：
三、前後清洗吹不幹排查流程
片子表麵有水珠吹不幹處理步驟流程圖
各種吹不幹的片子處理方法：
四、前後清洗十項影響效率、良率(或特定電參數)的原因
A. 片源不同
B. 藥液濃度的穩定性
C. 溫度的波動
D. 設備噴淋的異常
E. 過刻的異常
F. 設備滾輪的變形異常
G. 設備 PM 徹底性和細化
H. 測量儀器的短缺
I. 工藝規定和要求執行的不徹底
J. 員工的操作不當、質量意識欠缺以及作業區 5S 執行狀況
五、前後清洗換藥規程
1、更換刻蝕槽藥液
2、更換堿槽藥液
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