真空泵的選擇(doc 4)

1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10^-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10^-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高於真空設備真空度半個到一個數量級。

2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強範圍，如：擴散泵為10^-3~10^-7mmHg，在這樣寬壓強範圍內，泵的抽速隨壓強而變化，其穩定的工作壓強範圍為5×10^-4~5×10^-6mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個範圍之內，而不能讓它在10^-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10^-2mmHg下工作，但其工作壓強應小於1×10^-5mmHg為好。

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