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微機械慣性傳感器檢測平台的設計與應用(doc 8)

所屬分類：
設備管理
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252 KB
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相關資料：
微機, 機械, 慣性傳感器, 檢測平台, 設計
微機械慣性傳感器檢測平台的設計與應用(doc 8)內容簡介

摘要：一種用於微機械慣性傳感器研製與開發的檢測平台，介紹電容式慣性傳感器微電容信號的檢測原理、該係統的總體結構、各個組成部分的工作原理及自動檢測方法。

關鍵詞：微機電係統（MEMS） 微機械陀螺（MMG） 檢測


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