CMOS集成電路製造工藝(doc 16)
CMOS集成電路製造工藝(doc 16)內容簡介
從電路設計到芯片完成離不開集成電路的製備工藝,本章主要介紹矽襯底上的CMOS集成電路製造的工藝過程。有些CMOS集成電路涉及到高壓MOS器件(例如平板顯示驅動芯片、智能功率CMOS集成電路等),因此高低壓電路的兼容性就顯得十分重要,在本章最後將重點說明高低壓兼容的CMOS工藝流程。
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