設備可靠性(doc 8)
- 所屬分類：
- 設備管理
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設備可靠性(doc 8)內容簡介
這個標準在技術上已被全球公製委員會核準，並由北美公製委員會直接負責。目前的版本在2001年3月1日被北美地區標準委員會核準通過。2001年6月將在國際半導體設備和材料協會試行，之後同月公布。其第一版公布於1986年，上一版公布於1999年6月。
1.目的
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