內層製程試車作業管理規範(doc 18頁)

內層製程試車作業規範目錄：
一、目的
二、說明
三、設備點檢項目
四、測試項目

內層製程試車作業規範內容簡介：
去膜點
測試目的: 測試顯影線去膜效果是否正常
測試材料: 39mil 1/1 20”×24”測試板
檢驗工具: 量尺,秒表
檢驗標準: 40%±5%,測試速度5.2M/MIN
測試方法:1、準備基板10PNL,做前處理、壓膜,用透明底片對其進行曝光靜置15分鍾後待用
2、將測試板放入去膜段，測試板放置時須緊密連靠，此時記錄第一片板子經過去膜槽的時間，以米尺量測去膜槽的長度，推算出實際速度與設定速度是否符合
3、第一片板子出去膜段時，立即將去膜液噴壓,傳動關閉，打開去膜槽的上蓋板,觀察去膜情況
4、依測試板的去膜程度，於開始有去膜不淨處做記錄，以米尺量測並除以去膜槽的全長，計算出去膜點。測試完畢後,打開噴壓,傳動,將測試板取出
5、去膜點計算方式：[1-（去膜幹淨的有效長度/去膜槽有效長度）] ×100%
6、去膜點未達標準時，檢視去膜槽的噴嘴、噴壓及速度，若有異常則調整至標準值。

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