NSTDA非晶矽薄膜太陽能生產工藝流程(doc 7頁)

NSTDA非晶矽薄膜太陽能生產工藝流程目錄：
一、TCO塗層玻璃
二、玻璃磨邊機
三、玻璃清洗
四、第一次激光刻劃
五、玻璃清洗
六、負載
七、非晶/微晶沉積的PECVD係統
八、冷卻爐
九、塗敷薄膜矽的玻璃襯底
十、二次激光刻劃
十一、ZnO/Al Ag沉積濺射係統

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