某工業大學微電子工藝基礎摻雜技術(PPT 79頁)
某工業大學微電子工藝基礎摻雜技術(PPT 79頁)內容簡介
1、熟悉摻雜技術的兩種方式
2、熟悉擴散摻雜的原理
3、掌握離子注入相關概念及其原理
4、熟悉離子注入的工藝流程
5、了解離子注入係統的設備及其優點
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2、熟悉擴散摻雜的原理
3、掌握離子注入相關概念及其原理
4、熟悉離子注入的工藝流程
5、了解離子注入係統的設備及其優點
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