設備可靠性、有效性和可維護性的定義和測試規範(doc 8頁)

一、 目的
二、 範圍
三、 參考標準
四、 術語
五、 設備狀態
六、 三性測試

這個標準在技術上已被全球公製委員會核準，並由北美公製委員會直接負責。目前的版本在2001年3月1日被北美地區標準委員會核準通過。2001年6月將在國際半導體設備和材料協會試行，之後同月公布。其第一版公布於1986年，上一版公布於1999年6月。
一、目的
1.1 這份文獻通過提供測試半導體製造設備在製造環境中的三性（可靠性、有效性、可維護性）的標準，為設備的使用者和供應商之間的溝通建立了一個通用基礎。
二、範圍
2.1 這份文獻定義了設備的6種基本狀態。它包括了設備的任何時間所有可能的狀態。設備的狀態由其功能狀況決定，而不管操作者是誰。在這裏所做的對設備可靠性的測試強調的是對正在使用中的設備的突然中斷，而不是對設備的所有時間。
2.2 本文獻第三節（設備狀態）定義了如何對設備時間分類。第六節（三性測試）定義了測試設備狀態的公式。第七節（不確定測試）另外給出方法用來評估所得數據的統計意義。
2.3 有效的應用這份規範需要設備的工作遵循它的周期及或時間。自動監測設備狀態是標準SEMI E58中的內容，並不在本規範中。設備使用者與供應商之間清晰有效的溝通將持續提高設備的工作狀況。
2.4 在這份規範中的三性的指數可以直接運用於整個設備的非成套工具和子係統水平級。三性指數可以適用於子係統水平（例如過程模塊）的多路徑組工具。
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