MSF維修培訓(doc 11頁)

一、 H軸原點調整
二、 Θ軸原點的調整
三、 真空壓力的調整
四、 X-Y AXIS直角度調整
五、 NOZZLE有無檢測SENSOR調整
六、 NOZZLE CHANGE講解

一、 H軸原點調整
H軸原點是通過NOZZLE SHAFT上端的徑向軸承最低的NOZZLE來進行調整的，SHAFT的長度由於在UNIT製造時被製作成±0.02 mm以內,所以有0.04 mm 偏差量。

1. 最低NOZZLE的選定：
各NOZZLE單獨選擇 (用SUB CONTROL單獨選定) ,並MANU (ON/OFF) 上下動作,通過打在NOZZLE下麵的百分表的動作來進行判定 (需使用JIG，加在被測HEAD上)，選出位置最低的HEAD SHAFT。
． 以最低NOZZL為基準，通過NC MOVING，設定H = 0（ORG 0.101），通過手動下降（手盤ON / OFF），使得百分表擺動為0.1mm，即H軸PLATE與NOZZLE上端COLLER的間隙為0.1mm。……

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