PVD設備及工藝簡介(PPT 77頁)
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- 設備管理
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- 工藝簡介
PVD設備及工藝簡介(PPT 77頁)內容簡介
PVD設備簡介
泵
靶
真空測量
真空檢漏
PVD工藝簡介
PVD相關概念定義
真空度量單位
磁控濺射
鉑陽生產線相關工藝簡介
合金靶的濺射
金屬氧化物的濺射
..............................
泵
靶
真空測量
真空檢漏
PVD工藝簡介
PVD相關概念定義
真空度量單位
磁控濺射
鉑陽生產線相關工藝簡介
合金靶的濺射
金屬氧化物的濺射
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