PECVD生產操作規程(PPT 37頁)

PECVD生產操作規程
1 安全警告
2 安全與標識
3 開機
3.1 開總電源
3.2 啟動計算機
3.3 檢查冷卻水
3.4 檢查氣源
3.5 啟動“system”程序
4 選擇工藝單、生產
4.1 開真空泵，預加熱
4.2 啟動指定工藝
4.3 檢查工藝運行情況
4.4 傳動狀態測試
4.5 進行工藝調試，生產
5 停機
5.1 停止工藝運行
5.2 關牆壁氣箱中特氣閥，特氣管路吹掃
5.3 關掉真空泵，向腔體衝入N2
5.4 退出控製程序，關主電源
5.5 關上壓縮空氣、氮氣、冷卻水
PECVD生產操作規程

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