LED製造工藝流程(PPT 55頁)

LED製造工藝流程
工藝過程
技術路線
襯底製備
RIE (Reactive Ion Etching)反應離子刻蝕
外延材料生長
反應原理、反應方程式
外延層結構
外延片檢測
P麵工藝
薄膜轉移
N麵工藝
芯片點測
劃片
芯片分選
封裝
封裝工藝說明
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