真空材料與工藝技術培訓資料(PPT 162頁)

真空材料與工藝
1真空工程材料
1.2.1.2材料的出氣
材料出氣總量:
1.2.1.3材料的蒸發、升華、蒸氣壓
材料的蒸氣壓力與放氣壓力區分：
1.2.2材料的其它性能
1.2.3.2對密封材料的要求
1.3金屬材料
1.3.1鑄件
1.3.2鋼及不鏽鋼
中低真空係統：
1.3.2.2不鏽鋼
1.3.3有色金屬
1.3.3.2銅
鉑（Pt）、銥（Ir）
1.3.4.3金（Au）
1.3.5軟金屬
1.3.6難熔金屬1.3.6.1鎢(W)
1.3.6.4錸（Re）
1.3.7汞（Hg）
1.4非金屬材料
1.4.2陶瓷1.4.2.1陶瓷的性質
1.4.3.2聚乙烯和聚丙烯
1.4.5橡膠
1.4.5.2合成橡膠
1.4.5.3真空密封橡膠的選擇
1.5.2輔助密封材料
真空中常用除油脂有機溶劑有：
（4）汽油
3.堿和酸類
（2）酸類
底部或側壁裝有換能器的清洗槽
超聲清洗機常用型式：
超聲波發生器與清洗槽分開形式
分開式2
超聲清洗的功率
3超聲波頻率
2.2.1.5高壓飽和蒸汽清洗
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