外延工藝簡介(PPT 47頁)

什麼叫外延生長？
矽外延的基本原理
外延設備及所用的氣體
在外延中應注意的問題
外延層中的晶體缺陷
外延的質量表征因子
外延層測試設備
目前國內外延的動態
外延工藝簡介
什麼叫外延？
矽外延的基本原理:
外延生長摻雜原理
外延設備及所用的氣體：
各種矽外延爐比較
在外延中應注意的問題：
外延生長中的自摻雜
圖形漂移、畸變
外延層中的晶體缺陷：
外延的質量表征因子：
外延層測試設備：
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