真空磁控鍍膜設備構造講義培訓(PPT 39頁)
真空磁控鍍膜設備構造講義培訓(PPT 39頁)內容簡介
鍍膜設備係統簡述
真空係統
羅茨泵具有以下特點:
分子泵結構
真空泵的主要參數
真空計
傳動係統
加熱係統
冷卻係統
工藝布氣係統
..............................
真空係統
羅茨泵具有以下特點:
分子泵結構
真空泵的主要參數
真空計
傳動係統
加熱係統
冷卻係統
工藝布氣係統
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