集成電路工藝矽的晶體結構培訓課件(PPT 37頁)
集成電路工藝矽的晶體結構培訓課件(PPT 37頁)內容簡介
Chap 1 矽的晶體結構
1.1 矽晶體結構
1.2 晶向、晶麵和堆積模型
1.3 矽晶體中的缺陷
1.4 矽中雜質
1.5 雜質在矽晶體中的溶解度
襯底製備
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1.1 矽晶體結構
1.2 晶向、晶麵和堆積模型
1.3 矽晶體中的缺陷
1.4 矽中雜質
1.5 雜質在矽晶體中的溶解度
襯底製備
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