集成電路工藝課件(PPT 105頁)

集成電路工藝
集成電路製備主要工藝及設備
1.晶片製備
2. 前道工藝
3. 後道工藝
Chap0 緒 論
0．1 微電子器件工藝的發展曆史
比 較
0．2 集成電路的發展曆史
集成電路50年變遷：芯片製造商達到空前水平
以下為集成電路50年來的簡要發展和應用情況：
2、半導體設備與鉛結構模型
3、分子電子計算機
4、集成電路應用於導彈製導係統
5、戈登-摩爾提出摩爾定律
6、“Busicom 141-PF”計算機
7、英特爾4004微處理器
8、“普爾薩”數字手表
9、集成電路工藝突飛猛進
Explosive Growth of Computing Power
2.我國集成電路的發展曆史
0.4 集成電路製造工藝實例
0．3．1 矽外平麵晶體管工藝流程
0．3．2 矽外平麵晶體管工藝流程
0．3．3 MOS器件工藝流程

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