微波管總成工藝課件(PPT 60頁)

第四章 微波管總成工藝
§4.1微波管的裝配
高頻係統的冷態參量
4.1-1微波管裝配的一般要求
4.1-2微波管裝配的特點
4.1-2微波管裝配的特點
§4.2排氣設備和真空泵
微波管的排氣台
（一）真空係統
超高真空排氣台真空係統示意圖
（1）對真空係統的要求
（b）抽氣速率
（c）真空係統結構
（2）真空度單位與真空區域的劃分
（a）真空度單位
（b）真空區域的劃分
我國真空區域劃分為：
一般電真空器件管內真空度如下：白熾燈泡
（二）去氣設備、電源以及控製裝置
（2）電源
（3）控製與安全裝置
（三）排氣台的分類
4.3微波管排氣
4.3-1微波管排氣的一般過程
（1）接管與檢漏
（2）去氣
（a）升溫：
（b） 一次保溫：
（c）係統烘烤
（3）陰極處理
（b）陰極激活老練
（c）初測發射
（d）二次保溫（陰極激活老練）
（4）封離
（a）降溫
（f）封離
4.3-2排氣不充分的影響
§4.4微波管的老煉與調試、包裝
4.4-2微波管老練調試一般工藝過程
磁控管老練調試一般工藝過程：
行波管老練調試一般工藝過程：
（一）聚焦磁場安裝及調試（1）磁係統的測量與預調
（3）靜態流通調試
行波管老練調試一般工藝過程： （二）高頻調試
（三）整管包裝
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