外延工藝培訓課件(PPT 34頁)

3.7 外延工藝
2外延生長設備
3.7.4 金屬材料CVD
3.7.5 CVD反應室
低壓LPCVD
資料：擴展的PECVD製造大麵積太陽能電池
高密度等離子體化學氣相沉積設備
多功能等離子體CVD設備（Plasma Enhanced CVD）
MOCVD1
MOCVD2
MOCVD3
MOCVD4
3.7.5 外延新技術
分子束外延

..............................