半導體製造工藝過程培訓課件(PPT 33頁)

1、概述
2、晶體生長與圓晶製造
3、矽的氧化
4、光刻與刻蝕
5、擴散與離子注入
6、薄膜沉積
半導體製造工藝過程
目錄
概述
晶體生長與圓晶製造
熱氧化
光刻與刻蝕
擴散與離子注入
薄膜沉積
半導體製造過程控製
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