體矽微加工技術培訓教材(PPT 52頁)
體矽微加工技術培訓教材(PPT 52頁)內容簡介
反應離子刻蝕
等離子腐蝕
反應離子深刻蝕
Bosch工藝和Cryogenic工藝
離子濺射刻蝕
反應氣體刻蝕
其它物理刻蝕技術
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等離子腐蝕
反應離子深刻蝕
Bosch工藝和Cryogenic工藝
離子濺射刻蝕
反應氣體刻蝕
其它物理刻蝕技術
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