半導體工藝培訓課程(PDF 66頁）
半導體工藝培訓課程(PDF 66頁）內容簡介
.1.描述半導體製造中氧化膜，包括它的原子結構、用途及優點。
2.2.描述氧化的化學反應以及如何在矽上生長氧化物及其簡單計算。
3.3.解釋選擇性氧化並給出兩個實例。
44*.*.介紹三種熱氧化工藝設備，描述立體爐的五個部分，並討論快速升溫立式爐的優點。
5.5.解釋什麼是快速熱處理
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2.2.描述氧化的化學反應以及如何在矽上生長氧化物及其簡單計算。
3.3.解釋選擇性氧化並給出兩個實例。
44*.*.介紹三種熱氧化工藝設備，描述立體爐的五個部分，並討論快速升溫立式爐的優點。
5.5.解釋什麼是快速熱處理
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