半導體工藝--矽和矽片的製備(PDF 55頁）
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- 工藝技術
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- 半導體工藝
半導體工藝--矽和矽片的製備(PDF 55頁）內容簡介
矽材料精煉成半導體級矽
晶體結構和生長方法
矽晶體的主要缺陷及種類
矽片製備
矽片質量的七個標準
外延
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晶體結構和生長方法
矽晶體的主要缺陷及種類
矽片製備
矽片質量的七個標準
外延
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