PVDCVD設備介紹(PPT 45頁)

AMAT System
Mainframe+Process Chamber+Remote
Subsystem
了解次係統觀念與次係統工作原理與應用
廠務設計(facility)
主機係統輔助設備
反應室輔助設備
大綱
安全(SAFETY/LOCKOUT TAGOUT)
概說(Introduction)
主機平台(MAINFRAME)
廠務設施設計(System Facilities)
電力係統(AC POWER BOX/POWER DISTRIBUTION)
傳送反應室(Transfer Chamber)
傳送機製(Wafer Handling)
晶舟承載(Loadlock Chamber)
輔助反應室(Auxiliary Chamber)
係統控製器(SYSTEM CONTROLLER)
高週波(射頻)產生器(GENERATOR RACK)
熱交換係統(HEATER EXCHANGER)
氣體傳送係統(GAS DELIVERY SYSTEM)
真空係統(VACUUM SYSTEM)

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