鋼表麵複合處理工藝研究論文(PDF 72頁）

1．3表麵塗層技術?5
1．3．1 CVD塗層技術????．6
1．3．2 PVD塗層技術????．6
1．3．3 PECVD塗層技術???．．7
1．4離子氮化與PECVD複合處理技術．．8
1．4．1複合處理技術的設計思想．．9
1．4．2複合方法的選擇???10
1．4．3複合塗層的結合強度?．．11
1．4．4複合塗層的磨損特性?．．12
1．5 TiCN膜的研究進展????13
1．5．1等離子體化學氣相沉積?14
1．5．2中溫化學氣相沉積??．14
1．5．3多弧離子鍍????．15
1．5．4空心陰極離子鍍???15
1．5．5離子束輔助沉積???15
1．5．6脈衝高能量密度等離子體沉積????16
1．6本研究的內容及意義???．．16
1．6．1本研究的內容???．．16
1．6．2本研究的意義???．．17
第二章實驗方案設計與性能檢測??．18
2．1實驗方案??18
2．1．1基體材料18
2．1．2鈦源的選擇????．18
2．1．3離子滲氮及鍍膜設備????．??．19
2．1．4試驗工藝研究路線??．20
‘ 2．2塗層性能檢測．．21
中南大學碩士學位論文目錄
2．2．1硬度的測定????．21
2．2．2結合強度的測定???21
2．2．3表麵形貌、顯微結構的觀測及薄膜的物相分析????．22
2．2．4耐磨性的測定???．．22
第三章離子滲氮處理的工藝研究??．24
3．1溫度和時間對H13鋼離子滲氮滲層的影響??．．24
3．2滲氮氣氛對H13鋼離子滲氮滲層的影響???．28
3．3工作氣壓對H13模具鋼離子滲氮層的影響??．．28
3．3．1工作氣壓對滲氮層厚度的影響????28
3．3．2工作氣壓對滲氮層硬度的影響????30
3．3．3滲氮層的物相組成??．31
3．4滲氮層的耐磨性32
3．4．1不同工作氣壓離子滲氮磨損性能對比??32
3．4．2磨損機理分析???．．35
3．5小結???．38
第四章MOPCVD法沉積TiCN膜工藝探索．．39
4．1 MOPcVD法沉積TiCN膜工藝探索．39
4．1．1正交試驗39
4．1．2正交試驗結果???．．41
4．1．3正交試驗結果分析??．41
4．1．4 TPT蒸發溫度對沉積TiCN膜的影響??．．43
4．2 TiCN薄膜的形貌觀察及物相分析45
4．3小結???．48
第五章(PN+MOPCVD—TiCN)複合處理工藝初探???．49
5．1表麵及截麵硬度比較???．．49
5．2結合強度性能比較????．51
5．3小結???．53
第六章結論與展望?．54
6．1結論???．54
6．2展望???．54
參考文獻????．56
致謝．61
攻讀碩士學位期間發表的學術論文??62
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