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半導體製造工藝之晶體的生長概述(PPT 39頁)

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相關資料：
半導體製造, 製造工藝
半導體製造工藝之晶體的生長概述(PPT 39頁)內容簡介
半導體器件與工藝
二、對襯底材料的要求
三、起始材料--石英岩（高純度矽砂--SiO2）
矽片摻雜
摻雜分布
摻雜分布
區熔提純
多次區熔提純
襯底製備
..............................

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