淨化間動力及淨化設備概述(PDF 60頁)

RIE/ICP/LPCVD/光刻機
RIE/ICP/磁控/LPCVD/清洗台(KOH)
保持淨化間恒溫恒濕環境
保障設備
保障設備體係
光刻機/塗膠機
冰水機
原理與操作
恒溫/恒濕機
日常維護
清洗台/顯影台
空氣壓縮機
純水機
..............................