PECVD標準作業指導書(PDF 156頁)

第1 章 安全知識 ...... 9
1.1 安全標識說明 .. 9
1.2 安全知識說明 10
1.2.1 一般安全知識.... 10
1.2.2 安全裝置..... 11
1.2.3 安全裝置係統功能（一）..... 11
1.2.4 安全裝置係統功能（二）..... 11
1.2.5 用戶公司安全須知（一）..... 12
1.2.6 用戶公司安全須知（二）..... 12
1.2.7 維護及預防性維護（一）..... 12
1.2.8 維護及預防性維護（二）..... 13
1.2.9 電氣係統..... 13
1.2.10 工藝氣係統 14
1.2.11 設備上的安全標簽 .. 14
1.2.12 消防安全 .... 15
1.3 氣體安全 . 15
1.3.1 氮氣（N2） 15
1.3.2 氨氣（NH3） .... 15
1.3.3 矽烷(SiH4) .. 16
1.3.4 笑氣（N2O） .... 16
第2 章 技術數據 . 17
2.1 尺寸與重量(詳見設備銘牌) ..... 17
2.2 介質連接 . 17
2.3 冷卻水 ..... 17
2.4 壓縮空氣 . 18
2.5 環境空氣 . 18
第3 章 設備安裝 . 19
3.1 設備結構簡介 19
3.2 設備安裝流程 20
3.2.1 設備拆箱..... 20
3.2.2 設備進廠..... 21
3.2.3 設備物料清點和保管...... 22
3.2.4 設備定位..... 22
3.2.5 設備合體..... 24
3.3 爐體櫃部件安裝 ... 26
3.3.1 石英管安裝. 26
3.3.2 前後過渡法蘭安裝... 29
3.3.3 後爐門安裝. 29
3.3.4 前爐門安裝. 29
3.3.5 熱電偶安裝. 30
3.4 淨化台部件安裝 ... 31
3.4.1 推舟部件組裝.... 31
3.4.2 SiC 杆槳組裝..... 32
3.5 氣源櫃部件安裝 ... 34
3.5.1 真空管道安裝.... 34
第4 章 設備調試 . 37
4.1 軟著陸調試 .... 37
4.2 電極杆調試 .... 39
4.3 爐門調試 . 41
4.4 冷卻水測漏 .... 44
4.5 抽真空 ..... 45
4.6 流量計通訊與設置 ...... 45
4.7 蝶閥學習 . 46
4.8 射頻電源試輝光 ... 47
4.9 特氣管道保壓 47
4.10 送特氣.. 48
4.11 升溫係統調試.... 49
4.11.1 溫控儀調試和設置 .. 49
4.11.2 升溫調試 .... 49
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