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集成電路工藝技術發展現狀與趨勢概述(PPT 84頁)

所屬分類：
工藝技術
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集成電路工藝, 工藝技術, 技術發展, 發展現狀
集成電路工藝技術發展現狀與趨勢概述(PPT 84頁)內容簡介
1、集成電路特點—遵循Moore定律
等比例縮小(Scaling-down)定律
恒定電場定律的問題
微細加工
互連技術
SOI與SiGe技術
SOI技術：優點
智能傳感器微係統：單元技術
射頻模擬微係統：單元技術
高速射頻采樣ADC與光電器件集成技術
支撐微係統項目基礎工藝研究情況
基礎工藝：高密度互連布線工藝

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