多晶矽錠定向凝固生長方法概述(PPT 96頁)

8.5.1 鑄錠澆注法
8.5.2 定向凝固法
定向凝固法
8.5.3 電磁感應加熱連續鑄造(EMCP)
8.5.3電磁感應加熱連續鑄造(EMCP)
8.5.3 電磁感應加熱連續鑄造(EMCP)
Electromagnetic casting method
8.5.4 多晶矽鑄錠
坩堝噴塗
8.5.4 多晶矽鑄錠
多晶矽鑄錠
多晶矽鑄錠爐設備
定向凝固中的一些工藝參數
鑄造多晶矽
多晶矽中的雜質
多晶矽中的雜質(1)多晶矽中的氧
多晶矽中的雜質(2)多晶矽中的碳
多晶矽中的雜質(4)多晶矽中的氮
多晶矽中的過渡族金屬元素
多晶矽中的缺陷
多晶矽中的缺陷
半導體級高純矽的製備
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