擴散工藝培訓課件(ppt 74頁)
擴散工藝培訓課件(ppt 74頁)內容簡介
主要內容
§3.1雜質擴散機構
§3.2擴散原理(擴散係數擴散方程)
§3.3擴散雜質的分布
§3.4影響雜質分布的其他因素
§3.5擴散工藝
§3.6擴散工藝的發展(自學)
§3.7工藝控製和質量監測(補充)
..............................
§3.1雜質擴散機構
§3.2擴散原理(擴散係數擴散方程)
§3.3擴散雜質的分布
§3.4影響雜質分布的其他因素
§3.5擴散工藝
§3.6擴散工藝的發展(自學)
§3.7工藝控製和質量監測(補充)
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