離子注入工藝培訓課件(ppt 53頁)

主要內容
第四章 離子注入工藝
一．離子注入工藝設備結構
二、離子注入工藝的特點
基個概念：
三、離子注入原理
4.1核碰撞和電子碰撞
核碰撞和電子碰撞:
（一）、核阻止本領
（二）電子阻止本領
（三）射程的概念
4.2注入離子的分布
（一）縱向分布
注入離子的分布計算
注入離子分布
離子注入結深計算
(二）橫向效應
(三)．溝道注入
（四）複合（雙層）靶注入
4.3 注入損傷
一．損傷的形成
二.移位原子數的估算
三．非晶層的形成
四、損傷區的分布
． 4.4 熱退火
2．硼的退火特性
3．磷的退火特性
熱退火問題
4.擴散效應
5.快速退火
4.5 離子注入優缺點
三．自對準金屬柵的結構
四. 離子注入的應用

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