集成電路工藝基礎—矽的晶體結構培訓課件(ppt 49頁)
集成電路工藝基礎—矽的晶體結構培訓課件(ppt 49頁)內容簡介
主要內容
1.1矽晶體結構的特點
1.2晶向、晶麵和堆積模型
1.3矽晶體中的缺陷
1.4矽中的雜質
1.5雜質在矽晶體中的溶解度
1.6矽單晶生長
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1.1矽晶體結構的特點
1.2晶向、晶麵和堆積模型
1.3矽晶體中的缺陷
1.4矽中的雜質
1.5雜質在矽晶體中的溶解度
1.6矽單晶生長
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