表麵處理技術概論-氣相沉積技術(ppt 96頁)

表麵處理技術概論-氣相沉積技術(ppt 96頁)內容簡介

主要內容
5.1 物理氣相沉積
5.1.1 真空蒸發沉積
5.1.2 電阻蒸發沉積
5.1.3 電子束蒸發沉積
5.1.4 濺射沉積
5.1.5 離子鍍
5.1.6 外延沉積（生長）離子鍍
5.2 化學氣相沉積技術
5.3 氣相沉積技術製備薄膜
思考題

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